スーパー・アナライザー開発テクノロジー研究

研究概要

当研究では、理研が保有する独自加工技術を基軸として、キーパーツを創り出すファブリケーションテクノロジーの構築、およびかかるインフラ技術開発を推進します。具体的には、研究開発が進むナノ精密加工プロセス技術をコアとし、新しい表面改質加工法や超精緻加工法、そしてマイクロツールやマイクロパターン加工などにつながる一連のエッセンシャルプロセス技術を有機的に統合化して、超高精度や微細形状、特殊表面などを必要とする計測機器等の開発のための光学エレメントをはじめとする要素機能素子からモジュールへとつなぎ、次世代キーコンポーネントの創出を狙うものです。

研究テーマ

1. エッセンシャルプロセス技術の研究開発
2. ハイブリッドプロセス／システム技術の研究開発
3. キーパーツ／モジュール／コンポーネント創成技術の研究開発

主要論文

1. Ohmori H., Uehara Y., Naruse T., Maekawa K., Hachisu Y., Katahira K., Mizutani M., Kasuga H., Kameyama Y., Sasaki M., Kato T., Wada S., Lin W., Umezu S., Komotori J., Ito N., Takizawa Y., Young R., Takahashi Y., Koizumi J., Andou T., Inada A., Min S.K., Current Status of R and D Activities on Microfabrication in RIKEN Group for Critical Component Development, 3rd MIRAI Forum (on Micro-Fabrication and Green Technology), Korea, Oct. (2009).
2. Yoshida K., Ohmori H., Kasuga H., Katahira K., Hirai S., Sasaki M., Application of ELID-grinding for Micro-machining of SiC, The 7th International Conference on Manufacturing Research (ICMR09), University of Warwick, UK, September, (2009).
3. Ohmori H., Katahira K., Lin W., Mizutani M., Uehara Y., Naruse T., Kasuga H., Umezu S., Kato T., Sasaki M., Kameyama Y., and Sasaki C., Ultra/Nanoprecision Grinding Processes on Functional Materials for Development of Super Analyzer Key Components, The 6th CJICUPM, 16-21 (2008).
4. Inada A., Min S., David D., and Ohmori H., Effects of Ion-shot Coolant System on Cutting of Ferrous Material with a Diamond Tool, IMETI 2008, 13-17 (2008).
5. Mizutani M., Komotori J., Katahira K., Ohmori H., Development of a new integrated machining system -Improvement of surface characteristics on metallic biomaterials with a new electrical grinding system-,
   Journal of Machine Engineering, 7, 1, 15-23, (2007).

メンバー